Germania, Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor), Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Obiectul contractului
Germania, Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor), Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Descriere
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
- Tip anunț
- Anunț de participare, Anunț de participare (UE)
- Autoritate contractantă
- Ruhr-Universität Bochum
- Cod CPV
- 38000000
- Data publicării
- 13.08.2026
- Termen de depunere
- Nepublicat pentru acest tip de anunț
- Identificator
- 562332-2026
Documentația și asistentul cer un cont. Caietul de sarcini, întrebările despre cerințele acestui anunț și verificarea automată a potrivirii cu profilul firmei tale sunt disponibile în aplicație. Intră în cont ca să le folosești.
Anunțul oficial
Deschide în TEDDatele de mai sus sunt preluate automat. Sursa oficială rămâne singura cu valoare juridică.
Domeniu
Industria prelucrătoare